LED外延片PL譜掃描成像儀/PL Mapping/PL譜儀
功能介紹
1. 檢測外延片PL(光緻發光)光譜和白光反射光譜。
2. 通過外延片PL光譜測量外延片逐點的:峰值波長(WLP)、主波長(WLD)、光譜半寬(HW)、積分光強(INT)、峰強度(PI)。
3. 通過白光反射光譜測量外延片逐點的:薄膜厚度(Thickness)和反射率(PR)。
4. 顯示及輸出各被測量參數的均值(Mean)、均方差(Std)、标準差率(CV)等統計結果,并以圖形形式顯示各項參數的Mapping分布。
5. 其他選配功能:
· 可選配多個激光器,最多可配4個激光器。
· 可配置測量各波長段(UV-VIS-NIR)DBR(分布布拉格反射)數據。
· 可配置外延片翹曲度測量功能。
· 可配置激光打标機。
· 可配置光功率傳感器。(對應Photo Detector)
設備機型
IM-1130(移動機櫃手動型PL譜儀):IM-1130型PL譜儀采用可移動機櫃形式,方便操作,标準機型可測量2、4、6寸片,其中2寸片可一次測量4片,根據客戶需要可配置一次測量9個2寸片的載物台。
IM-2040(傾斜料倉2、4寸自動型PL譜儀):IM-2000全自動型PL譜儀是針對2、4寸片專門設計的自動機型。該型号設備使用标準cassette料盒爲載具,一次最多可放置3個料盒,共75片外延片。
IM-3000(雙臂機械手型PL譜儀)IM-3000雙臂機械手型PL譜選用柱坐标機械手自動取放片,自動正片,使用标準cassette料盒爲載具,共設有3個工位,一次最多可測75隻外延片。